Gerät zum Sputtern(Sputterverfahren in der Beschichtungsanlage)

Das von NorthGlass entwickelte und hergestellte Gerät zum Sputtern besteht aus drehbarer/planarer Kathode, Endblöcken und Magnetleisten. Wir bieten allen neuen und bestehenden Kunden auch maßgeschneidertes Design und Herstellen mit vorgenannten Komponenten an.

Northglass liefern drehbare Einzel-Kathode, drehbare Doppel-Kathode, planare Einzel-Kathode und planare Doppel-Kathode. Die Kathodenkomponente schließt Kathodenbasis, Deckel, Gasvertrieb, Wasser- und Stromanschluss, Vakuummessung, Steuerungssystem usw. ein.

Northglass bietet drei Serien von Endblöcken an, einschließlich EB-CAC, EB-CB und EB-CS, um die Bedürfnisse der Kunden aus verschiedenen Branchen zu erfüllen. Alle Endblöcke kann geschultes Personal der Benutzer selbst warten. Das Trainingsprogramm kann selbst in der Werkstatt der Benutzer durchgeführt werden, was höchst zeitsparend und kostengünstig ist.

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1. EB-CAC Series
Jedes Paar besteht aus einem funktionalen Ende und einem unterstützenden Ende. Das funktionale Ende dient der Target-Rotation und der Verbindung von Wasser und Strom, während das andere als eine Unterstützung dient.
Diese Serie kann auf asymmetrische Beschichtungsanlagen angewendet werden.

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2. EB-CB Series
Jedes Paar besteht aus einem funktionalen Ende und einem unterstützenden Ende. Das funktionale Ende dient der Target-Rotation und der Verbindung von Wasser und Strom, während das andere als eine Unterstützung dient.
Diese Serie kann auf asymmetrische Beschichtungsanlagen angewendet werden.

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3. EB-CS Series
Jedes Paar besteht aus einem funktionalen Ende und einem unterstützenden Ende. Das funktionale Ende dient der Target-Rotation und der Verbindung von Wasser und Strom, während das andere als eine Unterstützung dient.
Diese Serie kann auf asymmetrische Beschichtungsanlagen angewendet werden.
Der Abstand zwischen dem Target und dem Subtrat ist aufgrund der Abwärts-Installationsmethode leicht verstellbar.

• Das extrudierte Aluminum-Stützrohr lässt das Magnet und seinen Joch von dem kühlenden Wasser isolieren, um die Änderungen des Magnetfeldes aufgrund des langzeitigen Einweichs im Wasser zu verhindern. Das erhöht die Festigkeit der Magnetleiste und verringert die Fluktuation des Magnetfelds aufgrund der Friktion zwischen dem verdrehten Magnet-Stahl und dem Target-Rohr.
• Die Gleichmäßigkeit des magnetischen Feldes kann mithilfe von Schraubgewinde-Anpassungskonstruktion präzis gesteuert werden.
• Das kühlende Wasser wird direkt von den Wärmequellen des Target-Rohrs abgegeben und führt die Wärme effizient ab.
• Die Installation und Wartung sind einfach und bequem.